Электроника / Полупроводники Решения

Отраслевые проблемы

Остаточная влага вызывает выход чипов из строя: производство полупроводников требует крайне низкого содержания влаги в сжатом воздухе; следовая влага может вызвать окисление чипов, короткие замыкания и значительное снижение выхода годной продукции.

Загрязнение масляным туманом влияет на качество пластин: масляный туман в сжатом воздухе оседает на поверхности пластин, вызывая дефекты в процессах литографии и травления, что серьезно влияет на качество продукции.

Частицы вызывают короткие замыкания: микрочастицы (≥0,1 мкм) могут стать причиной коротких замыканий или обрывов внутренних цепей в чипах, что требует соблюдения строжайших стандартов чистоты.

Надежность круглосуточной непрерывной работы (24/7)*: заводы по производству полупроводников обычно работают круглосуточно; отказ оборудования или колебания подачи воздуха могут привести к остановке целых производственных линий, что чревато огромными убытками.

Решения

Комбинированная система осушения со сверхнизкой точкой росы: использование комбинированных осушителей для стабильного обеспечения точки росы под давлением -40℃, что соответствует строгим требованиям к воздуху со сверхнизким содержанием влаги для производства полупроводников.

Полностью изготовленная из нержавеющей стали высокоточная система фильтрации: оснащение прецизионными фильтрами в корпусе из нержавеющей стали с точностью фильтрации до 0,01 мкм, гарантирующими подачу чистого воздуха без масла, пыли и микроорганизмов.

Интеллектуальное управление на базе ПЛК и удаленный мониторинг: оснащение системой управления ПЛК с поддержкой интерфейса связи RS485, обеспечивающей удаленный мониторинг, самодиагностику неисправностей и сигнализацию, а также работу без постоянного присутствия персонала.

Резервированная конструкция и бесперебойная подача воздуха: для критически важных технологических звеньев применяется конфигурация N+1 или резервирование с плавным переключением, что обеспечивает непрерывное производство на полупроводниковых линиях.

Рекомендуемые продукты

Комбинированный осушитель воздуха — DM110ZHMR

Адсорбционный осушитель воздуха с микронагревом — DM15MR / DM40MR

Рефрижераторный осушитель воздуха — DM026APF / DM026GF

Прецизионный фильтр из нержавеющей стали